据国度电力投资集团有限公司(以下简称“国度电投”)9月10日音讯,近日葡萄京娱乐网站app官网,国度电投所属国电投核力创芯(无锡)科技有限公司(以下简称“核力创芯”)暨国度原子能机构核时代(功率芯片质子放射)研发中心,完成首批氢离子注入性能优化芯片居品客户托付。
国度电投暗示,这标识着我国已全面掌持功率半导体高能氢离子注入中枢时代和工艺,补全了我国半导体产业链中缺失的进犯一环,为半导体离子注入建造和工艺的全面国产化奠定了基础。
据国度电投先容,氢离子注入是半导体晶圆制造中仅次于光刻的进犯样式,在集成电路、功率半导体、第三代半导体等多种类型半导体居品制造流程中起着要道作用,该领域中枢时代及装备工艺的缺失严重制约了我国半导体产业的高端化发展,相当是600V以上高压功率芯片永久依赖入口。核力创芯的时代突破,糟塌了海外把持。
核力创芯在碰到异邦要道时代及装备阻塞的不利条目下,支援独力腾达,自主立异,打造新质坐褥力,在不到三年的时期里,突破多项要道时代壁垒,兑现了100%自主时代和100%装备国产化,建成了我国首个核时代诈欺和半导体领域交叉学科研发平台。首批托付的芯片居品资历了累计近万小时的工艺及可靠性测捕快证,主要时代方针达到国际先进水平,赢得用户高度评价。
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